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    PARKERUHP隔膜阀-手动或气动完整的产品说明
    点击次数:410 更新时间:2022-11-16

    PARKERUHP隔膜阀-手动或气动完整的产品说明

    (真空至300 psig) - 930系列

           930 系列隔膜阀(1-1 / 8英寸的阀体尺寸)可用于各种手动操作和气动执行器操作。它拥有优异的可靠性,泄漏完整性和清洁度,使其在UHP半导体行业中成为理想的应用。

           930系列采用不与过程流体接触无螺纹或弹簧设计,可大限度地减少颗粒产生和截留,减少

    半导体应用中的工艺污染。该系列阀门的严格设计,控制阀座和隔膜应力,以提供

    稳定和免维护的使用寿命。930系列阀[门润湿部件由特种金属制成,提供的耐腐蚀性和

    泄漏完整性。阀体是内部采用电抛光处理的Vericlean" 316L不锈钢材质。Vericlean" 是派克

    的UHP级不锈钢。隔膜是高强度钴基合金材质。930系列还提供聚三 氟氯Z烯( PCTFE ),

    聚醚醚酮树脂( PEEK⑧)和聚酰亚胺( Vespel⑧)材质的阀座,可使930阀门与多种工艺流

    体相兼容。这些材料结合930系列严格的设计特点,给予了930系列产品在入口压力高达300

    psig时的耐腐蚀性和更大循环使用寿命。

    930系列气动阀可以配置限位开关或接近开关,用以提供开-关位置指示。还有多种阀体构造

    可选,包括930Y系列( Y型阀)和SM930系列(面板安装)。

    930系列阀门上内部(阀座)密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行氦气泄露测试,

    以适应在苛刻的UHP应用中, 保有其性能和稳定性。

    市场:

    半导体

    分析实验室

    ●制药

    , 生物制药

    ●航空航天

    .工业

    PARKERUHP隔膜阀特点与优势:

    ●电抛光表面光洁度: 5微英寸( Ra )

    ●高循环使用寿命(包括耐腐蚀性服务)

    ●内部无弹簧和无螺纹设计可大限度地减少颗粒产生和气体截留

    ●全压力范围使用:从真空到300 psig

    ●内部泄漏率:≤1x10-9scc/secHe

    .外部泄漏率:≤2 x 10-10scc/ sec He

    ●AOP驱动,额定压力为75 psig

    PARKERUHP隔膜阀应用:

    腐蚀性气体和特种气体

    半导体工具

    工具连接

    燃气柜.

    阀组箱(VMB)

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